杨德坤（1994.09-），副教授，博导，主要从事集成电路制造过程工艺量检测技术，目前以第一作者或通讯作者发表SCI论文10余篇，授权国家发明专利10余项，主持国家、省部级项目多项。

联系邮箱：dekun.yang@hainanu.edu.cn

教育和工作经历：

2026.1-至今， 海南大学 电子科学与技术学院 副教授

2024.7-2025.12， 海南大学 电子科学与技术学院 讲师

2020.9-2024.6，武汉大学 机械电子工程 博士

2019.8-2020.8 上海大众汽车有限公司 底盘研发工程师

2017.9-2019.6，武汉大学 机械工程 硕士

研究方向：

OCD光学测量

光学散射测量

集成电路纳米结构测量

光存储器件设计

科研项目：

海南大学科研启动基金项目，10万元，主持，2024.9-2029.9

国家自然科学基金C类，30万元，主持，2026.1-2028.12

海南省外国专家项目，28万元，主持，2026.1-2027.12

海南省国际科技合作研发项目，99万元，主持，2026.1-2027.12

代表性论文：

1. Dekun Yang, Hui Li, Sheng Liu, Changhui Song, Yongqiang Yang, Shengnan Shen, Junwen Lu, Zefeng Liu, and Yilin Zhu. "In situ capture of spatter signature of SLM process using maximum entropy double threshold image processing method based on genetic algorithm." Optics & Laser Technology 131 (2020): 106371.

2. Dekun Yang, Zhidan Lei, Lijie Li, Wei Shen, Hui Li, Chengqun Gui, and Yi Song. "High optical storage density using three-dimensional hybrid nanostructures based on machine learning." Optics and Lasers in Engineering 161 (2023): 107347.

3. Dekun Yang, Tan Shu, Lijie Li, Wei Shen, Chengqun Gui, and Yi Song. "Defocus correction for angle-resolved scatterometry using waveguide-based surface plasmon resonance." Optics & Laser Technology 174 (2024): 110580.

4. Dekun Yang, Wei Liang, Shizhao Wang, Wei Shen, Jiantao Zhou, Guanjun Wang, Chong Shen. "Enhanced inverse problem solution in angle-resolved scatterometry using a combination of library search and particle swarm algorithm." Optics & Laser Technology 184 (2025): 112424.

5. Dekun Yang, Yunfei Song, Wei Liang, Wenze Zhang, Wei Shen, Chong Shen, Kang Liang, Sheng Liu*. "Angle-resolved scatterometry combined with deep learning assisted in-situ monitoring of nanowire doping in molecular beam epitaxy process." Microsystems & Nanoengineering 11.1 (2025): 198.

6. Zijun Qi, Wei Shen*, Dekun Yang*, Gai Wu*. "In-depth insights into crystal orientation and temperature dependence of interfacial thermal transport in diamond/SiC heterostructures by machine learning molecular dynamics." International Communications in Heat and Mass Transfer 166 (2025): 109231.

7. DeKun Yang, Du Wang, QiuShi Huang, Yi Song, Jian Wu, Wen-Xue Li, Zhan-Shan Wang et al. "The development of laser-produced plasma EUV light source." Chip 1, no. 3 (2022): 100019.

8. Sun Qimeng, Dekun Yang, Tianjian Liu, Jianhong Liu, Shizhao Wang, Sizhou Hu, Sheng Liu, and Yi Song. "Nondestructive monitoring of annealing and chemical–mechanical planarization behavior using ellipsometry and deep learning." Microsystems & Nanoengineering 9, no. 1 (2023): 50.

9. Lei Zhidan^#, Dekun Yang^#, Yiduo Xu, A. Hubao, Yi Song, Cheng Lei, and Yan Zhao. "Achieving ultra-high-density two-dimensional optical storage through angle resolved LSPR arrays: a case study of square array." Optics Communications 546 (2023): 129798.

10. Song Lei^#, Dekun Yang^#, Zhidan Lei, Qimeng Sun, Zhiwen Chen, and Yi Song. "A Reflectivity Enhanced 3D Optical Storage Nanostructure Application Based on Direct Laser Writing Lithography." Materials 16, no. 7 (2023): 2668.

代表授权发明专利：

1. 宋毅，杨德坤，刘胜，用于检测系统缺陷的简化测试结构设计方法，发明授权号：ZL202011573097.7

2. 宋毅，杨德坤，一种堆叠纳米片结构的测量模型构建方法、测量方法，发明授权号：ZL202210154984.3

3. 杨德坤，刘胜，宋毅，基于 ANN 的光学特性建模数据库生成方法，发明授权号：ZL202011584307.2

4. 李辉，申胜男，杨德坤，沈丙南，张磊，一种基于超声波雾化、凝聚的煤矿除尘装置，发明授权号：CN108412534B

5. 刘胜，宋云飞，梁康，孙启盟，杨德坤，沈威，吴改，汪启军，张文泽，分子束外延半导体薄膜生长均匀性原位监测方法及系统，发明授权号：ZL202410712484.6

6. 刘胜，梁康，宋云飞，孙启盟，杨德坤，沈威，吴改，汪启军，张文泽，一种集成原位测量的分子束外延薄膜生长系统，发明授权号：ZL202410712478.0

7. 宋毅，雷志丹，杨德坤，一种双工作台光学散射测量系统，发明授权号：ZL202210005296.0

8. 雷志丹，杨德坤，宋毅，光信息存储方法及读取方法，发明授权号：ZL202211349887.6

9. 张佩婷，蔡强，杨德坤，宋毅，用于OCD测量匹配的库搜索方法，发明授权号：

CN202210945212.1

10. 徐彬艺，沈重，杨德坤，梁伟，用于增强反向恢复性能的SiC沟槽MOSFET超级结及其制备方法，发明授权号：ZL202411741027.6