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18 2024.09

阅读:

    杨德坤

杨德坤(1994.09-),博士,讲师

教育和工作经历:

2024.7-至今, 海南大学 电子科学与技术学院 讲师

2020.9-2024.6,武汉大学 机械电子工程 博士

2019.8-2020.8 上海大众汽车有限公司 底盘研发工程师

2017.9-2019.6,武汉大学 机械工程 硕士

研究方向:

OCD光学测量

光学散射测量

集成电路纳米结构测量

光存储器件设计

科研项目:

海南大学科研启动基金项目,2024.9-2029.9

代表性论文:

1. Dekun, Yang, Hui Li, Sheng Liu, Changhui Song, Yongqiang Yang, Shengnan Shen, Junwen Lu, Zefeng Liu, and Yilin Zhu. "In situ capture of spatter signature of SLM process using maximum entropy double threshold image processing method based on genetic algorithm." Optics & Laser Technology 131 (2020): 106371.

2. Dekun, Yang, Zhidan Lei, Lijie Li, Wei Shen, Hui Li, Chengqun Gui, and Yi Song. "High optical storage density using three-dimensional hybrid nanostructures based on machine learning." Optics and Lasers in Engineering 161 (2023): 107347.

3. Dekun, Yang, Tan Shu, Lijie Li, Wei Shen, Chengqun Gui, and Yi Song. "Defocus correction for angle-resolved scatterometry using waveguide-based surface plasmon resonance." Optics & Laser Technology 174 (2024): 110580.

4. DeKun, Yang, Du Wang, QiuShi Huang, Yi Song, Jian Wu, Wen-Xue Li, Zhan-Shan Wang et al. "The development of laser-produced plasma EUV light source." Chip 1, no. 3 (2022): 100019.

5. Sun, Qimeng, Dekun Yang, Tianjian Liu, Jianhong Liu, Shizhao Wang, Sizhou Hu, Sheng Liu, and Yi Song. "Nondestructive monitoring of annealing and chemical–mechanical planarization behavior using ellipsometry and deep learning." Microsystems & Nanoengineering 9, no. 1 (2023): 50.

6. Lei, Zhidan#, Dekun Yang#, Yiduo Xu, A. Hubao, Yi Song, Cheng Lei, and Yan Zhao. "Achieving ultra-high-density two-dimensional optical storage through angle resolved LSPR arrays: a case study of square array." Optics Communications 546 (2023): 129798.

7. Song, Lei#, Dekun Yang#, Zhidan Lei, Qimeng Sun, Zhiwen Chen, and Yi Song. "A Reflectivity Enhanced 3D Optical Storage Nanostructure Application Based on Direct Laser Writing Lithography." Materials 16, no. 7 (2023): 2668.

授权发明专利:

1. 宋毅,杨德坤,刘胜,用于检测系统缺陷的简化测试结构设计方法,发明授权号:ZL202011573097.7

2. 宋毅,杨德坤,一种堆叠纳米片结构的测量模型构建方法、测量方法,发明授权号:ZL202210154984.3

3. 杨德坤,刘胜,宋毅,基于 ANN 的光学特性建模数据库生成方法,发明授权号:ZL202011584307.2

4. 李辉,申胜男,杨德坤,沈丙南,张磊,一种基于超声波雾化、凝聚的煤矿除尘装置 发明授权号:CN108412534B

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